PRO-SALD

Inleiding

Atomic Layer Deposition technology (ALD) is een ultradunne film depositie techniek die in de maakindustrie steeds populairder wordt. Vanuit de gasfase wordt een enkele atoomlaag dikke conforme laag neergelegd.

Toepassingen

Het proces wordt industrieel onder andere toegepast in de zonnecel- en halfgeleiderindustrie.

Nadelen van Traditionele ALD

Een nadeel van het traditionele of klassieke ALD-proces is dat het een vrij traag vacuümproces is met vele processtappen die onder strikt vacuüm geschieden.

SALD en S-ALD

SALD b.v. is expert in het industriële Spatial ALD processen (S-ALD), een gepatenteerde variant van dit klassieke ALD-proces, met wel 100 tot 300 keer hogere depositiesnelheden.

Voordelen van S-ALD

Een groot voordeel van deze variant is dat processing onder atmosferische druk kan geschieden. Dergelijke processen worden inmiddels industrieel gebruikt als onder andere passivatielaag op de achterkant van standaard zonnecellen.

Ontwikkelingsproject

Afgelopen jaren heeft SALD een ontwikkelingsproject voor een nieuwe Spatial ALD depositiekop doorlopen. Deze nieuwe kop wordt middels een speciaal 3D-metaalprintproces met grote precisie geproduceerd.

Flexibiliteit van de 3D-productiemethode

Tevens kan de depositiekop ook in andere metalen geprint worden, waaronder RVS. Het andere grote voordeel van de 3D-productiemethode is dat er op relatief eenvoudige wijze aanpassingen aan deze kop gemaakt kunnen worden, simpelweg door de 3D-tekening aan te passen.

Nieuwe Technologie

Juist deze nieuwe modulaire depositiekop technologie biedt SALD de mogelijkheid om geheel nieuwe wegen in te slaan.

Plasma-Enhanced Spatial ALD

SALD wil nu zelf ook het zogeheten Plasma-Enhanced Spatial ALD-proces gaan ontwikkelen. Dit is een variant van haar depositieproces, waardoor de te coaten oppervlakten op andere wijze, in dit geval door een plasma, geactiveerd of geoxideerd worden.

Voordelen van Plasma-Enhanced S-ALD

De toevoeging van een HF plasma zorgt ervoor dat onder andere procestemperaturen sterk verlaagd kunnen worden, en dat er andere materialen en materiaalklassen middels S-ALD-processen gedeponeerd kunnen worden.

Toepassingsmogelijkheden

Zo wordt S-ALD ook geschikt voor onder andere plastic substraten, en daarmee geschikt voor andere toepassingsmarkten. Dit proces moet ontwikkeld worden.

Doel van het PRO-SALD Project

Het doel van het PRO-SALD project is het onderzoeken van de technische, commerciële en financiële haalbaarheid van het ontwikkelen van een Plasma Enhanced-Spatial ALD-proces, en wel in de vormfactor van de nieuwe depositiekop.

Onderzoek naar Technische Eisen

Hierbij wordt onder andere gekeken naar de mogelijkheid om het benodigde keramiek te 3D-printen. In deze studie worden de specifieke technische eisen onderzocht die dit proces aan de depositiekop stelt, en de aanpassingen die aan de SALD-tools en bijbehorende systemen moeten geschieden om tot een veilig en stabiel Plasma-Enhanced Spatial ALD-proces te kunnen komen.